美国Onto Innovation由Rudolph Technologies, Inc.和Nanometrics Incorporated于2019年合并而成，总部位于马萨诸塞州威尔明顿，是微电子制造行业过程及过程控制设备和软件的提供商，拥有贯穿整个半导体价值链的独特视角。我们助力客户解决良率、器件性能、质量和可靠性方面棘手的问题。Onto Innovation 通过提升客户的智能化、速度和效率，优化其关键发展路径。Onto Innovation ，并通过遍布全球的销售和服务网络为客户提供支持。

我们兼具全球企业的规模优势和一系列技术，包括：无图案晶圆质量控制；涵盖从纳米级晶体管到大型芯片互连的芯片特征的 3D 计量；晶圆和封装的宏观缺陷检测；金属互连成分分析；工厂分析；以及用于先进半导体封装的光刻技术。凭借如此广泛的产品组合和我们互联互通的思维方式，我们能够与客户携手合作，共同探讨从裸硅晶圆到晶圆厂，再到后端封装的整个工艺良率和工艺偏差问题。Onto Innovation 的软件能够帮助客户了解各个工艺流程如何影响整体产品，从而提升产品质量和可靠性。

Onto主要产品：

晶圆检测机

目视检测机

宏观缺陷检测机

表面检测机

3D检测机

颗粒缺陷检测

晶圆计量系统

半导体计量系统

光致发光检测系统

薄膜厚度测量机

半导体行业光刻系统

连续性测试仪

主要型号：

Firefly、Dragonfly G3、NovusEdge、F30、EB40、NSX 330、AWX FSI、OCD、NanoSpec II、IMPULSE V、IMPULSE+、Atlas V、Atlas III+、Atlas XP+、Aspect、、IVS 系列、Iris系列、Echo、Imperia、、Vertex、RPMBlue、ECV Pro、QS1200、QS2200、JetStep W2300JetStep S3500、JetStep G35、JetStep G45、PrecisionWoRx VX4