赛力斯自动化科技有限公司

我们的超稳定差分激光干涉仪SP 5000 DI具有独特的热稳定性，因此是研发中长期测量的选择，例如用于材料性能分析。

与标准干涉仪不同，在差分型中，参考光束从传感器头引出，并平行于测量光束。这一概念允许将传感器放置在离实际测量位置更大的距离处，而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。该干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，并且由于微分原理，即使在正常的实验室条件下，也可以在类似的测量或光束长度下实现。

如果使用倾斜不变反射器进行测量，则长度测量的测量范围可以是几米。干涉测量系统具有模块化设计，并且因此可以适用于相应的测量任务。

调整很简单，特别是可以长期稳定地实现。对基于SP 5000 DI干涉仪的干涉多轴系统的扩展允许同时进行多坐标测量。

• 高精度的差动长度或角度测量
• 通过差分测量更小化环境影响
• 热长期稳定传感器，温度灵敏度<20 nm/K
• 可以使用各种光学反射器，例如球面、平面反射镜反射器
• 测量反射镜的大倾角不变性
• 标准不锈钢传感器头设计
• 光束距离：21毫米
• 广泛的触发器选项
• Windows和Linux下OEM软件的开放接口

球反射器直径15毫米

球形反射器单元

环境校正

产地：德国

位移测量范围：5 m

位移分辨率：5 pm

角度测量范围

带反射器：±12.5°

带平面镜（建议距离≤2m）：±1.5弧分

光束距离（标准）：21 mm

波长：632.8 nm

HeNe激光器的频率稳定性（预热时间之后）：2·10-8

HeNe激光器的预热时间：10 ... 20 min

工作温度范围：15 ... 30°C

测量反射镜的位移速度：max.3 m /s

传感器头和电子单元之间的电缆长度：3 m，max.10 m

电源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸（长x宽x高）

传感器头（带基板）：150 x 140 x 43 mm

电子供应和评估单元（标准）：450 x 400 x 150 mm

电子供应和评估单元（紧凑）：250 x 400 x 150 mm

重量

感测头：2.0 kg

底盘：1.5 kg

差分激光干涉仪可作为OEM版本提供，可作为编码器安装在机器轴上。对于真空测量，SP 5000 DI可作为真空优化版本提供。

标准光束距离为21毫米。我们可根据要求提供其他光束距离。