赛力斯自动化科技有限公司

 iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能，校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器（如质谱仪和扫描电子显微镜）中的设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损耗传感器，与传统的线式 Pirani、对流规和传统 MEMS Pirani 相比，具有同类更好的性能、更宽的测量范围和更高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合，可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。

测量范围宽达 7 个 10

用于过程控制的 3 个数字设定点输出

模拟电压输出

数字 UART 接口

数字 RS-485 接口

远程零点调整

超紧凑设计

产地：丹麦

测量范围：1x10^-6 至 13.33 mbar（7.5x10^-7 至 10 托）

测量原理 1x10^-6 至 13.3 mbar：MEMS Pirani 热导率

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5 mbar：读数的 25 %

精度 1x10^-4 至 9.99x10^-1 mbar：读数的 5 %

精度 1.0 至 10 mbar：读数的 30 %

磁滞 1x10^-3 至 9.99x10^-1 mbar：1 %

磁滞 1 至 10 mbar：10 %

真空温度传感器范围：-20 至 + 85°C

真空温度传感器精度：+/-1.5 °C

传感器温度传感器范围：-20 至 + 85°C

传感器温度传感器精度：+/- 1.5 °C

模拟输出：0.2- 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模拟输出分辨率：12 位

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间：<20 ms

温度补偿：+10 至 +50 °C

设定点范围（ABS）：5x10^-6 至 13.33 mbar（3.75x10^-6 至 10 托）

设定点输出高电平：>2.9 VDC

设定点输出低电平：<0.4 VDC

Max设定点输出源电流和灌电流：1 mA

工作环境温度：-20 至 +50 °C

介质温度：-20 至 +50 °C

存储环境温度：-40 至 +120 °C

烘烤温度（非工作）：+120 °C

Max介质压力：10 bar （Abs）

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP 40

湿度IEC 68-2-38：98%，无冷凝

电源电压：+3.3 VDC 或 4-18 VDC

功耗：25 mW（Max）3.3 VDC 电源；95 mW（Max）4-18 VDC 电源

质谱仪、扫描电子显微镜、泄漏探测器、太空飞行系统、飞轮储能、真空泵集成、阀门集成