MICROFLEX TECHNOLOGIES密封件MS-028-062-S0004

品　　牌：MICROFLEX TECHNOLOGIES
型　　号：MS-028-062-S0004
技术资料： MICROFLEX TECHNOLOGIES密封件MS-028-062-SXXXX.pdf
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产品介绍

MicroSeal 系列是高纯度、高完整性密封件的完整产品线，适用于工业和半导体应用，包括低流量、高流量、高压和低压降。我们还提供孔口密封件和盲孔密封件，用于封闭备用端口。其他主要优点包括高清洁度和无源、富铬、低 Ra 表面光洁度。MicroSeals 可改装为标准的 “C ”型密封系统。我们的密封件符合 SEMI 标准 PR 3.1、3.5 和新的大流量标准。MicroSeal 的设计具有更柔软、更顺从的界面，可根据配合表面自行成型，确保泄漏密封性，并在不牺牲回弹特性的情况下去除虚拟泄漏。这是市场上具有高回弹性的高顺应性密封件。MicroSeals 的回弹率是同类密封件设计的十倍之多，而且对空腔公差的容忍度特别高。这确保了密封面在高压力、温度和振动条件下保持紧密接触。所有这些特性都是在低压缩率的情况下实现的，从而确保了较高的通过。

性能特点

MicroSeal 28 型

60 系列 semi pr3.1 流体输送系统

0.0004" 红宝石孔口

优化的内径，可在中流量、高流量、蒸汽和液体输送系统中实现低压降

低压缩率，确保气体/液体输送系统的高可靠性

密封回弹力是传统设计的 10 倍，可在冲击和振动条件下实现泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 标准

高纯度双熔体 316 不锈钢

洁净被动式富铬表面

5 Ra 润湿表面处理

减免了高成本的返工和报废现象

选型指南

MS-028-062-SXXXX：0.060" OD, 0.010" 厚孔径；孔口 "a "的范围为 0.0004"-0.0350"

MS-028-062-SLXXXX：0.118" OD, 0.026" 厚孔径；孔口 "a "的范围为 0.0050"-0.0810"

产品结构与细节

设计适用于直径为 0.290±0.002 的沉孔

"a"，有关孔口

孔口 "a "的范围为 0.0004"-0.0350"

孔口 "a "的公差为 0.0002"

0.060" OD, 0.010" 厚孔径

孔口 "a "取代零件号中的 xxxx

技术参数

产地	美国
红宝石孔口	0.0004 "
孔口公差	0.0002 "
OD	0.060 "
厚孔径	0.010 "
材料	铬/铁；316L VIM VAR
硫含量	> 0.004 %
铬/铁比率	2.5
氧化铬厚度	> 20 埃
氧化物厚度（减碳）	35 角
表面粗糙度	＜ 1 微英寸；10 微英寸
缺陷/每个位置	＜ 1 个缺陷；＜ 25 个缺陷
泄漏测试，设计压力	5000 psig
外泄漏	< 1 x 10^-9 atm·cc/sec He
暴露于 5000 psig 后，100 psig外泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
耐压性能	7500 psig
爆裂测试（静水压力）	静水压测试液体不得可见
部件密封性	< 7 x 10^-11
> 20,000 psig 压力	爆裂
振动	MIL-SPEC 810E 1-3 章 1 类测试
冲击-跌落测试增量	25G
无冲击规格泄漏	<1 x 10^-9 atm·cc/sec He
经过类别测试后泄露	<7 x 10^-11 atm·cc/sec He
冲击 > 294G	无泄漏
预加载防护系数
扭矩设置	80 % 和 120 %
内侧泄漏	< 1 x 10^-9 atm·cc/sec He
扭矩	10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅
内侧泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
可重复性	20 次
扭矩	10、24 和 48 英寸/磅
扭矩测试泄露	< 5 x 10^-11 atm·cc/sec He
温度循环
室温	100 ℃；-10 ℃
密封	三组双端口
周期	五个
内侧泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
温度冲击测试	-196 至 200 ℃（直接插入液态 N₂）
< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He 压力	无泄漏
压缩载荷测试
测量载荷	0.062 压缩到 0.050 英寸
标准密封	685 磅
低负荷密封	618 磅

产品应用

工业、半导体