VAT转移门插件07.0
- 品 牌：VAT
- 型 号：07.0
- 技术资料：
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产品介绍
在半导体生产系统中，大气转移门的核心性能指标在于：颗粒激活度与颗粒排放量低，以及快速可靠的启闭循环。
全新07.0 HV转移门插件搭载LINVAT技术，将非凡的颗粒性能与优化的可控性完整结合，实现可调节的快速循环周期。
07.0 HV转移门插件采用LINVAT技术，其设计重点在于优化颗粒性能与高速循环周期。
通过优化多项设计特性，实现了卓绝的颗粒性能表现：板材上的扭力杆确保均匀密封压缩，全封闭式执行器，免润滑环境，以及具备可调速曲线的真实L-Motion运动模式，有效避免闭合冲击。
07.0型卓绝的真实L型运动及可调速特性，源于VAT专有的LINVAT技术。该技术摒弃传统L型运动中垂直与水平方向分别采用两个执行器的方案，仅通过单个执行器实现两步运动。由此形成高度可靠的执行器方案，具备快速、稳定、可调且无冲击的运动特性。优势在于：提升设备运行时间并增强可控性。
性能特点
改进的颗粒性能设计
无油运行环境
卓绝的精细L型运动
均匀的密封压缩
灵活的D-sub和AMP连接
出彩的颗粒性能
高运行时间
可靠运行
技术参数
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产地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 10 mm (1.81“ × 9.29”) |
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DN 12 mm (1.97“ × 13.23”) |
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DN 14 mm (1.38“ × 13.23”) |
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DN 15 mm (2.56“ × 16.54”) |
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DN 20 mm (1.97“ × 16.54”) |
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执行机构 |
气动 |
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穿管 |
波纹管 |
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泄漏率 |
< 1 × 10⁻⁷ mbar·l/s |
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闸门处压差 |
关闭方向：≤ 1 bar |
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开启方向：≤ 0.1 bar |
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开启过程压差 |
≤ 30 mbar |
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初次维护前循环次数 |
≥ 300万次 |
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动作时间 |
开启： ≤ 1秒 |
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关闭：≤ 1秒 |
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温度 |
阀门处：≤ 120 °C |
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执行器处：≤ 80 °C |
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材质 |
阀体：铝合金 |
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波纹管保护层：聚四氟乙烯 |
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密封件 |
硫化FFKM橡胶 |
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安装位置 |
执行器可上下安装 |
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气源故障锁定 |
气动锁定 |
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位置指示器 |
簧片开关 |
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重量 |
DN 10, DN 12, DN 15：8.5千克 /18.7磅 |
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DN 14, DN 20：7.5 kg /16.5 lbs |
产品应用
半导体制造：用于晶圆传输、真空腔室隔离等关键环节，保障生产环境的洁净度与设备稳定性。
显示器生产：支持干式蚀刻、溅射、薄膜封装（CVD）等工艺的真空控制。
科学仪器领域：在科研装置中实现高精度真空传输。
工业真空系统：如真空炉、真空运输、电池生产等场景的颗粒控制与高效传输。
津公网安备12010102000945号
