VAT转移门07.7

07.7大型转移门配L-VAT系统为真空门树立了新标杆。该产品通过优化三大核心性能指标实现卓绝表现：(1) 颗粒排放防护，(2) 快速可调的循环周期，(3) 高运行时间与便捷高效的维护。

其卓绝性能在严苛应用场景及多变工艺条件下尤为突出。

07.7型转移门的设计重点在于卓绝的颗粒性能。其开启与关闭采用纯L型运动轨迹。阀门所有可能存在颗粒释放风险的部件均采用独立密封设计。例如：两侧门导轨采用PTFE波纹管密封，压力梁的压力元件采用焊接金属波纹管密封，电缆拖链则配备符合IPA洁净室1级标准的PTFE防护罩。

07.7传输门的核心优势在于：即便在高速启闭循环中仍能实现平稳闭合。气动执行器内的阻尼机构可调节以适应不同循环速度，从而max限度减少闭合冲击，降低颗粒激活风险。侧导轨设计确保门体运动平稳，有效抑制振动。磁性位置指示器（MPI）用于准确显示门体垂直与水平位置。07.7型配备高性能气密门所需的全部功能。

维护停机不仅令人困扰，更是可避免的成本，还会降低产量。07.7通过缩短维护中断时间并降低其发生频率，max限度延长设备运行时间。简化的闸板更换与压力元件便捷检修，仅是显著降低维护工作量的两项设计亮点。此外，密封压力可根据工艺需求灵活调节，例如在使用其他密封材料时。

集成式间隔件还能防止板式密封过度加压，减少O型圈磨损，并通过延长免维护周期提升设备可用性。

所有潜在颗粒排放元件均采用密封设计

纯L-Motion运动系统——在任何工况下均保持平稳无振动运行

配备垂直与水平位置磁性指示器

卓绝的颗粒排放防护性能

快速可调的循环周期

高运行时间，低维护需求且操作简便

半导体制造：

在半导体生产中，真空阀是优化生产流程的关键设备。VAT转移门07.7以其高纯度、低粒度、可控性、速度和可用性设定了标准。

阀门可根据特殊要求量身定制，满足半导体制造中的控制和隔离需求。

科学仪器：

许多科学仪器使用高真空和ultra-high真空作为测量环境，对真空阀的耐用性和颗粒自由度有高要求。

VAT转移门07.7在苛刻的工艺环境中具有很高的耐用性和长寿命，设计紧凑、节省空间，几乎不需要维护。

薄膜涂覆：

薄膜涂覆工艺需要在受控的大气条件下进行，真空度和气体分布的准确控制对涂层过程的效率至关重要。

VAT转移门07.7即使在不断变化的工艺条件下也能实现准确、稳定的操作，准确控制气体流量，max限度地减少残余气体和颗粒排放。

高能物理研究：

高能物理研究中的许多实验和测量需要在真空条件下进行，对真空阀等真空元件提出高要求。

VAT转移门07.7的全金属真空阀具有抗辐射、耐高温、max程度地免受污染以及物理惰性等特点，适用于高能物理研究的所有领域。