VAT闸阀14.0

产品介绍

14.0 HV闸阀系列专为标准高循环真空工艺中的可靠隔离而设计。该系列满足耐用性、模块化和可维护性的标准要求，特别注重高运行时间和低拥有成本。

14.0 HV闸阀配备专为实现闸板密封无摩擦可靠密封而开发的VATLOCK技术。VATLOCK机构通过在关闭端位实现机械锁定，有效防止阀门故障。

该系列已在数千个严苛工艺条件下成功应用，其卓绝可靠性经受住考验。DN63-400mm（2.5“-16”）规格已成为高真空隔离领域的行业标杆。

凭借其坚固耐用的无润滑设计，该阀门完全满足高真空闸阀的可靠性要求。14.0型专为ultra-high工艺循环次数设计，真正树立了行业标杆。

14.0系列提供多种驱动方式与法兰连接方案，可轻松集成至各类真空系统。更配备丰富特殊选项：粗抽口、排气口、压力表接口等接口配置，以及多种密封材料方案，确保完整适配不同应用场景。

14.0 HV闸阀提供手动、气动及带电磁阀的三位置气动版本，可作为车载解决方案或用于外部安装。电磁阀标准电压为24 VDC，其他电压可按要求提供。

法兰连接的标准选项包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及JIS。可集成带/不带水冷功能的客户定制法兰。

可靠、久经考验的设计

无需润滑剂

VATLOCK技术，具备故障安全防护功能

坚固耐用的不锈钢主体

高循环设计

性能可靠

延长免维护周期

低拥有成本

产地	瑞士
尺寸	DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）、DN 400（16英寸）
阀体材质	不锈钢
穿管结构	旋转穿管
标准法兰	ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
压力范围	1×10⁻⁸ mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200)
	1 × 10⁻⁸ mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400)
初次维护前循环次数	200 000
加热/冷却速率	≤ 50 °C/h
安装位置	任意方向（DN 63 – 350）
	水平方向（DN 400）
电磁阀	24 VDC, 2.5 W（其他规格可定制）
阀位指示	可视（机械式）
执行机构	三位置气动：双作用
	手动：带杠杆或手轮
泄漏率	阀体：< 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
	阀座：< 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
压差	闸阀端	≤ 2 bar (DN 63 – 200)
		≤ 1.2 bar (DN 250 – 400)
	开启时	≤ 30 mbar
温度	阀体：≤ 150 °C
	气动执行器：≤ 50 °C
	手动执行器：≤ 80 °C
	电磁阀：≤ 50 °C
	位置指示器：≤ 80 °C
材质	阀体		AISI 304 (1.4301)
	传动机构		AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301)
			AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034)
密封	阀盖、闸板：FKM (氟橡胶)
位置指示器：触点额定值	电压：≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
	电流：≤ 5 A ≤ 3 A

半导体制造

用于基质转移、过程隔离和真空系统控制，确保晶圆加工过程中的真空环境稳定性。

兼容高循环真空工艺，满足长运行时间和低购置成本需求。

显示器生产

在干式蚀刻、溅射、薄膜封装（CVD）、OLED蒸发等工艺中，提供可靠的真空隔离。

快速响应特性减少工艺延迟，提升生产效率。

科研与工业领域

空间模拟：19.2系列大型闸阀（DN 400-1250 mm）支持超大尺寸真空隔离，压力达 1 × 10⁻¹⁰ mbar。

真空炉与运输：全金属阀设计适应恶劣温度和辐射条件，确保真空系统长期稳定运行。