WITEC快关阀75232-CE44-0006

快速关闭阀门的主要要求是在出现空气涌入的情况下能够快速可靠地做出反应。由于泄漏导致 UHV 或 XHV 环境的损失，尤其是在加速器或储存环等大容量环境中，可能会导致污染方面的重大问题，以及恢复所需真空水平所需的努力。

75.2 UHV 快速关闭阀系列可在压力升高时通过快速关闭反应保护真空度。该系列在 10 毫秒以下（取决于阀门直径）以很快的速度关闭真空管路。关闭后，阀门密封 < E-9 mbarl/s。由于任何毫秒都可以防止损坏程度，因此 75.2 设定了保护基准。

75.2 设计为闸阀 (DN 40)，采用气动驱动。标准烘烤温度高。阀体max. 200°C执行器为 50°C。阀盖采用金属密封，闸门密封采用 FKM，焊接金属波纹管密封馈通。

快速关闭阀由单独的控制器控制。控制器通过定期检查系统、传感器及其连接的就绪状态来确保快速关闭时间。该控制器是模块化的，可以针对不同的阀门/传感器布置进行配置。快速关闭阀的状态也由控制器提供远程输出。反之亦然，阀门可以通过控制器上的接口进行远程控制。

75.2 UHV 快速关闭阀系列已经在各种工艺条件下的加速器和储存环设施中得到证明，已成为可靠的 UHV 和 XHV 系统保护的标准。

毫秒级紧急响应：在检测到真空泄漏或压力异常时，阀门可在10毫秒内（具体时间取决于阀门直径）完成关闭，防止真空环境被破坏。

ultra-high密封性：关闭后泄漏率低于<1×10⁻⁹ mbar·L/s，满足半导体制造、粒子加速器等对真空纯度要求高的场景。

系统保护基准：通过快速隔离真空管路，避免污染扩散和设备损坏，成为行业公认的真空系统保护标准。

加速器和储存环设施：75.2系列已在全球多地加速器设施中长期运行，证明其能在恶劣工艺条件下稳定工作。

免维护设计：初次维护前标准开关次数达2000次，实际使用中近乎免维护，降低长期拥有成本。

辐射抗性：阀体辐射抗性达10⁸ Gy，闸门密封件抗性10⁵ Gy（可选10⁶ Gy），适应核聚变装置等强辐射环境。

半导体制造：在刻蚀、离子注入、PVD/CVD等工艺中，快速隔离反应腔，防止污染气体扩散至真空传输系统。

同步辐射光源与粒子加速器：维持ultra-high真空环境（≤10⁻⁹ mbar），避免外界气体干扰实验精度。

真空灭菌与冻干设备：快速关闭防止细菌侵入，保障产品无菌安全。

太阳能电池镀膜：如PERC、HJT技术依赖稳定真空，阀门需响应异常压力波动。