VAT控制阀95.3
- 品 牌：VAT
- 型 号：95.3
- 技术资料：
- 阅读次数：454
产品介绍
95.3型控制与隔离阀组合单元将两种阀门技术的优势集于一体，构筑紧凑型装置。在95.3系列中，蝶形控制阀作为节流阀，与角阀（maxDN 50mm/2英寸）或闸阀（DN 63mm/2.5英寸及以上）组合使用，提供卓绝的可控性与密封隔离性能（泄漏率<1×10⁻⁹ mbar·ls⁻¹）。此组合设计的优势在于极小占地面积：仅需单一控制器即可控制两组阀门，省去安装独立阀门时通常所需的额外法兰与连接件。
集成式32位IC2压力控制器能快速、精细且精细地调节蝶板位置，在宽导通范围内提供卓绝的可控性。同一控制器同时控制集成角阀或闸阀的隔离功能。两阀门运动周期通过单一运动曲线实现同步，确保操作平稳并优化控制与隔离功能。组合阀甚至能在隔离阀关闭时将蝶板开启至设定角度，从而避免关闭状态下的死体积。
95.3 HV控制与隔离组合阀已在数千个严苛工艺条件下成功应用，其卓绝可靠性已获得充分验证。
95.3高压控制与隔离阀组合单元提供不锈钢（仅有DN 50及以下）和铝制版本，尺寸范围为DN 25-250毫米（1“-10”），配备ISO-KF和ISO-F标准法兰接口。可集成客户定制法兰。可根据需求提供多种FFKM/FKM弹性体材料，标准配置为FKM材质。
性能特点
占地面积小
安装要求低
集成阀门采用单一控制装置
差压开启
所需安装空间min
融合两种阀门技术的优势
安装简便
拥有成本低
技术参数
|
产地 |
瑞士 |
|
尺寸 |
DN 25 (1“)，DN 40 (1½”)，DN 50 (2“)，DN 63 (2½”)，DN 80 (3“)，DN 100 (4”)，DN 160 (6“)，DN 200 (8”)，DN 250 (10") |
|
执行器 |
集成步进电机压力控制器 |
|
标准法兰 |
ISO-KF、ISO-F |
|
安装位置 |
任意 |
|
阀体材质 |
DN 25 – 50：铝或不锈钢 |
|
泄漏率 |
阀体、阀座：< 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s |
|
压力范围 |
DN 25 – 50：1 × 10⁻⁸ mbar 至 1.2 bar (abs) |
|
DN 63 – 250：1 × 10⁻⁷ mbar 至 1.2 bar (abs) |
|
|
温度 |
阀体：≤ 120 °C |
|
环境：highest 50 °C（引荐≤ 35 °C） |
产品应用
半导体行业：
刻蚀机：实现工艺腔室压力分段控制，可选WF₆专用镀层。
ALD系统：集成快速响应阀（小于30ms），实现前驱体气体脉冲注入。
离子注入机：提供无磁化材料版本，实现束线真空隔离。
光伏镀膜系统：优化气体分布，提升镀膜均匀性。
科研真空装置：满足高真空环境下的准确控制需求。
津公网安备12010102000945号
