VAT角阀29.2

具有软泵功能的阀门主要要求是避免湍流。当阀门开启时，湍流可能因颗粒旋转而对负载锁（LL）腔室的抽真空过程产生负面影响。此外，阀门开启时因高压差导致的快速压力变化可能引发突发冷凝效应，同样会对工艺参数造成不利影响。

29.2 HV软泵角阀可有效规避此问题。

29.2型软泵功能使其特别适用于需在宽导电率范围内准确校准的大流量工况。通过将两组高真空角阀集成于紧凑结构中——主阀与旁通阀协同工作——实现了宽导电率覆盖范围。

阀体侧面的调节轮可精细调节软泵效果，从而在极宽导电率范围内实现与目标工艺参数的完整匹配。

为确保简单精细的调节与便捷复位，调节轮设有11个定位刻度。此设计既保障了参数设置的可重复性，也便于将相同参数复制应用于其他阀门。

在此设计中，29.2型凭借其在精度与紧凑结构方面的卓绝性能表现脱颖而出。其他配置需通过多组阀门和额外管路才能实现的功能，29.2型仅凭单一解决方案即可达成。

针对易产生冷凝的温度敏感工艺，29.2型可配备集成式PTC加热器。

尤其在太阳能电池或显示器制造等高要求应用场景中，当负载锁室容积较大且压力条件变化时，29.2系列已充分展现其卓绝的“软启动”特性。

双软启动功能的附加优势在于能显著降低或消除脉冲噪声，从而营造更安静的生产/操作环境。

29.2高压角阀配备软泵功能，基于可靠坚固的核心结构设计，可实现长期免维护运行。若需维护，操作简便快捷。

29.2系列提供多种主阀与旁通阀组合方案：DN 100 mm主阀搭配DN 25 mm旁通阀，DN 160 mm主阀可选配DN 25、DN 40或DN 63 mm旁通阀。气动执行器提供两种类型：带关闭弹簧的单作用型（常闭）与双作用型。该系列产品提供铝制或不锈钢材质选择。

标准法兰连接选项包含ISO-KF和ISO-K，亦可集成定制法兰。视觉位置指示器与电位输出信号均为标准配置。

可调软启动功能

主阀与旁通阀组合配置

软启动参数轻松复现

高压差工况下仍保持全功能运行

有效避免湍流与冷凝现象

大导电率范围配合精细校准

超长免维护运行周期

快速便捷的维护操作

半导体制造

在芯片生产中，29.2型号可能用于真空腔体的气体控制，其高密封性和低放气率可避免工艺污染，确保晶圆加工精度。

真空镀膜设备

镀膜过程中需准确调节气体流量与压力，29.2型号的耐高压差特性可稳定维持真空环境，提升膜层均匀性。

科研与高真空系统

实验室或工业研究中的高真空场景（如粒子加速器、表面分析仪器）对阀门可靠性要求高，29.2型号的长期免维护设计可降低停机风险。