VAT角阀24.2

暴露于活性腐蚀性工艺气体中的真空阀门，尤其是用于隔离远程等离子体源的清洁气体阀门，极易遭受严重磨损。过去，因维护或更换这些阀门而频繁中断生产曾是常态。如今，这种情况已不复存在。

24.2角阀在耐磨性方面树立了全新标杆。实际应用中，其平均运行时间较现有解决方案延长一倍，部分案例中更显著超越该基准值。

凭借针对等离子清洗应用优化的闭合机制，24.2角阀兼具精细操作隔离阀的便捷性、ultra-high耐久性及极低维护需求。

等离子清洗领域多数真空阀的薄弱环节在于闸门密封件，其无法抵御强腐蚀性等离子气体及氟自由基的侵蚀。24.2角阀通过采用闭合钟形结构替代传统闸门，解决了这一难题。

钟形结构使密封件置于等离子流外的深密封槽中，有效防止过早磨损。该结构还重新设计了流道引导，经优化的等离子流道使导电率较传统角阀提升40%。由于减少了因流道狭窄或湍流造成的能量损耗，等离子流的功率利用率显著提高。

新开发的轴向贯穿件设计可保护贯穿件密封件免受过度的热应力影响。

此外，采用专用轴穿墙盒实现闭合钟罩与穿墙件的热解耦，避免直接热传导。同时准确设定主体与闭合钟罩间的间隙尺寸，有效防止等离子体渗透并max限度降低其影响。

24.2角阀已在多种严苛等离子清洗工艺中验证其卓绝性能。凭借模块化设计，该阀门可轻松适配现有系统进行改造升级。

24.2型角阀提供DN 16规格的铝制版本，配备双作用气动执行器。其他规格及直通式版本可按需定制。

该阀门采用被动式空气冷却，无需水冷。但可选配主动式空气冷却系统，该系统可使用与执行器相同的压缩空气驱动。被动及可选的主动空气冷却系统能直接、均匀且有效地保护温度敏感的密封面。

除标准FKM（Viton）密封材料外，动态密封与静态密封可选配耐高温FFKM（Kalrez）材料，即使不采用主动冷却也能显著提升耐磨性。密封材料可根据客户需求定制。

24.2角阀标配KF法兰，可选配客户定制法兰。配套的塑料法兰夹具具有电气绝缘功能，可有效防止电流传播。

除卓绝耐磨性外，24.2角阀专为快速简易维护设计。

仅需松开四颗螺栓，即可通过简单步骤更换所有相关部件，包括静态密封件、动态密封件或密封盒。配套维护套件可确保快速可靠的维护流程。

等离子体优化流道设计

密封保护

集成冷却系统

模块化设计

延长免维护运行周期

max化导电率

min化等离子体能量损耗

低拥有成本

快速简易维护

VAT角阀24.2已在要求苛刻的各种等离子清洁工艺中证明了其性能，主要适用于半导体、显示器和太阳能电池板制造，以及在特殊真空条件下运行的广泛工业和研究应用。