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VAT高真空闸阀11.1

  • 品  牌:VAT
  • 型  号:11.1
  • 技术资料:
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产品介绍

11.1 HV闸阀系列配备专为闸板密封设计、可实现无摩擦可靠密封的VATLOCK技术。该技术通过在关闭端位实现机械锁定,有效防止阀门故障。

该系列及其前代产品11.0系列已在数千个严苛工况中投入使用,经受住各种工艺条件的考验,其卓绝可靠性已获充分验证。在DN 63-320毫米(2.5“-11.5”)规格范围内,它们已成为高压隔离需求的行业标杆。

凭借坚固设计,11.1系列满足高压闸阀可靠运行的全部要求。该系列专为ultra-high工艺循环次数设计,树立了通用型高压闸阀的新标杆。

本系列提供多种驱动方式和法兰连接方案,可轻松集成至任何高压系统。窗口、端口等丰富特殊选项确保整体适配各类应用场景。

11.1 HV闸阀提供手动、气动及三位置气动三种版本。该阀门可通过电磁阀控制,电磁阀可安装在阀体上,也可根据需要安装在远端位置。电磁阀标准电压为24V直流,其他电压规格可按要求提供。阀门位置通过双位置指示器显示——分别配备两个开关用于“开”和“关”位置——并带有转换触点。

法兰连接器的标准选项包括ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS。可集成带水冷或不带水冷的客户定制法兰。

闸板密封可选O型圈密封或硫化密封(maxDN 200 mm/8")。因其在真空性能和可靠性方面表现优异,建议采用硫化密封方案。

性能特点

可靠、久经考验的设计

配备防故障保护的VATLOCK技术

坚固耐用的不锈钢主体

高循环设计

焊接金属波纹管密封穿墙件

弹性体密封闸阀类别中真空性能

运行可靠

延长免维护周期

低拥有成本

技术参数

产地

瑞士

尺寸

DN 63(2½英寸)、DN 80(3英寸)、DN 100(4英寸)、DN 160(6英寸)、DN 200(8英寸)、DN 250(10英寸)、DN 320(12英寸)

阀体材质

不锈钢

穿管结构

波纹管

标准法兰

ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS

压力范围

1×10⁻⁸毫巴至1.6巴(absolutely值)(DN 63–200)

1 × 10⁻⁸ mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 320)

初次维护前循环次数

200 000

安装位置

任意

电磁阀

24 VDC,5.4 W(其他规格可定制)

阀位指示

可视(机械式)

执行机构

三位置气动:双作用

手动:带曲柄手柄

泄漏率

阀体:< 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s

阀座:< 1 × 10⁻⁹ mbar ls⁻¹

压差

闸阀端

≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)

≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)

开启时

≤ 30 mbar

温度

阀体:≤ 150 °C

执行器:≤ 80 °C

电磁阀:≤ 50 °C

位置指示器:≤ 50 °C

材质

阀体

AISI 304 (1.4301)

传动机构

AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200)

AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)

波纹管

AISI 633 (AM350)

密封

阀盖、闸板:FKM (氟橡胶)

位置指示器:触点额定值

电压:≤ 50 VAC/DC

电流:≤ 1.2 A

产品应用

半导体制造

用于基质转移、工艺腔室隔离等关键环节,确保高纯度真空环境,防止颗粒污染。

显示器生产

适配干式蚀刻、溅射、薄膜封装(CVD)、OLED蒸发等工艺,满足精细控制需求。

科研与高能物理

在空间模拟、高能物理实验中,提供稳定的高真空隔离解决方案。

工业领域

真空炉、真空运输、电池生产等场景,依赖其可靠性和耐久性。


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