VAT传输阀02.4
- 品 牌：VAT
- 型 号：02.4
- 技术资料：
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产品介绍
02.4型大型转移阀搭载MONOVAT技术，专为满足高真空条件下有机材料蒸镀系统的特殊需求而研发。该阀门专为高循环生产系统设计，兼具卓绝的快速动作响应与抗工艺沉积物能力，可有效避免标准阀门性能受限问题。02.4型阀门经设计可实现100万次不间断运行，之后才需进行初次引荐维护检查。
高运行时间与可靠性能是02.4系列的核心优势，其维护需求被降至lowest。采用专属MONOVAT密封技术，阀门启闭过程实现无冲击运动，有效抑制颗粒活化并减少密封磨损。密封机构的紧凑设计使整个阀体结构精巧，安装尺寸小巧。
该系列已在全球数百家显示器与光伏生产系统中投入运行，经受各种工艺条件考验，其卓绝性能在各方面均获得充分验证。
02.4型大型转移阀（带MONOVAT）与所有VAT转移阀解决方案一样，均可根据客户准确要求定制。定制要素包括：用于脉冲驱动的电磁阀、特殊表面处理（如硬质阳极氧化或镀镍铝材）、其他密封材料、闸门接地等。
性能特点
紧凑设计与小巧安装尺寸
无冲击闸门运动
抗工艺沉积物能力
低运行成本
快速循环时间
高运行时间，低维护需求
技术参数
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产地 |
瑞士 |
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尺寸 |
标准：50×500毫米至150×1600毫米（1.97英寸×19.69英寸至5.91英寸×62.99英寸）特殊尺寸可定制 |
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执行器 |
气动：双作用 |
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阀体材质 |
铝合金 |
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穿壁结构 |
带中间抽吸的轴穿壁 |
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泄漏率 |
阀体、阀座：< 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s |
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闸板处压差 |
关闭/开启方向：≤ 1 bar |
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开启时压差 |
≤ 5 mbar |
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初次维护前循环次数 |
100万次 |
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关闭或开启时间 |
≤ 1.5 s（开启高度100 mm时） |
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温度 |
阀体、闸板：≤ 120°C |
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执行器、位置指示器：≤ 60°C |
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阀体/闸板温差 |
小尺寸：≤ 40°C |
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大尺寸：≤ 25°C |
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材质 |
阀体、闸板：EN AW-5083 (3.3547) |
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执行器轴：AISI 304 (1.4301) 硬铬镀层 |
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差压片：AISI 304 (1.4301) |
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密封件 |
闸板、法兰、穿管：FKM（氟橡胶） |
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安装位置 |
执行器上置、下置或侧置 |
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位置指示器 |
电压：10–30 VDC PNP（可选NPN） |
产品应用
平板显示器制造：用于有机发光二极管（OLED）等显示面板的真空沉积工艺，确保高精度材料沉积。
光伏生产：在太阳能电池的真空镀膜环节中，实现高真空环境下的稳定传输，提升产品良率。
半导体封装：支持高真空条件下的晶圆传输，减少颗粒污染风险。
津公网安备12010102000945号
