泄压阀的主要要求是其可靠和准确作用的泄压触发器。212 减压触发器由高耐用性压力弹簧驱动,该弹簧设计用于延长使用寿命。触发器经过校准,可处理 1.2 至 1.5 bar 阀门开口处的压差。其工作范围设置在 1×10-8 mbar 和 1.2 bar 之间,气体流量max.6升/分钟。
212 系列在各种工艺条件下的数千种苛刻应用中进行了测试,证明了其可靠性。
212 泄压阀有 DN 16mm (5/8") 可供选择。阀体由不锈钢制成。标准法兰为 ISO-KF。其烘烤温度≤150°C。
精细保护
快速响应压力突变,防止系统过压损坏,保障设备安全运行。
适用于对压力敏感的精细工艺,如半导体晶圆加工、真空镀膜等。
成本效益
低拥有成本:长寿命设计减少更换频率,降低长期维护费用。
高性价比:在同类产品中,其性能与价格平衡出菜,适合大规模工业应用。
兼容性与灵活性
支持多种真空系统配置,可与其他VAT阀门(如闸阀、角阀)协同工作。
模块化设计便于升级或扩展,适应未来工艺调整需求。

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产地 |
瑞士 |
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触发压力与压差 |
触发器经过校准,可处理阀门开口处 1.2至1.5 bar 的压差。 |
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释放触发点为 >1.5 bar,即当系统压力超过此值时,阀门开启释放压力。 |
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工作范围 |
压力范围覆盖 1×10⁻³ mbar 至 1.2 bar,适用于从高真空到中等压力的广泛场景。 |
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这一特性使其在半导体制造、真空镀膜等对压力敏感的工艺中表现优异。 |
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流量与尺寸 |
max气体流量为 6升/分钟,满足小流量精细调节需求。 |
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提供 DN 16mm(5/8") 规格,兼容多种管道系统。 |
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材质与结构 |
阀体采用 不锈钢 制造,耐腐蚀、耐高温,适应苛刻工业环境。 |
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标准法兰为 ISO-KF,便于与现有真空系统集成。 |
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寿命与可靠性 |
触发器由高耐用性压力弹簧驱动,经校准后寿命显著延长,减少维护频率。 |
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在数千种苛刻工艺条件下通过长期测试,证明其稳定性与可靠性。 |
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烘烤温度 |
支持 ≤150°C 的烘烤温度,适应高温消毒或工艺需求。 |

半导体制造
在晶圆加工、光刻、蚀刻等环节中,维持真空腔室压力稳定,避免污染或工艺偏差。
真空镀膜
控制镀膜过程中的气体压力,确保薄膜均匀性,提升产品良率。
太阳能电池板生产
在真空干燥、层压等步骤中,防止压力波动导致电池板缺陷。
工业研究
实验室真空系统中,为高精度实验提供可靠的压力保障。