VAT泄漏阀59024-GEGG

产品介绍

59.0 UHV 全金属可变泄漏阀允许准确控制非常小的气体流量（1·10-10 mbar ls^-1至500 mbar ls^-1）。凭借其全金属设计，它非常适合 UHV 和UHV 工艺中的气体计量要求。

59.0 的特殊控制功能保证了可重复的准确气体流量设置，增强了过程控制能力。它还在整个生命周期内提供可靠、无泄漏的关闭，没有任何密封疲劳的风险。

全金属设计——不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸门密封——使 59.0 还具有对腐蚀性和腐蚀性气体的高耐受性。

59.0 已经安装在各种工艺条件下的数千种苛刻应用中，证明了其可靠性。它已成为 UHV 和 XHV 应用中可变泄漏阀的标准解决方案。

高精度气体流量控制

可准确控制微小气体流量，范围达 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s 至 500 mbar·L/s，满足UHV/XHV工艺中气体计量的严苛要求。

特殊控制机构确保气体流量设置可重复，显著提升工艺控制能力。

全金属密封结构

采用不锈钢阀体 + 镀金不锈钢薄膜闸门密封，实现“硬对硬”金属密封，消除密封疲劳风险，确保终生无泄漏。

对腐蚀性及侵蚀性气体具有高耐受性，适用于半导体、科研等高纯度要求场景。

模块化与灵活性

提供 DN16mm（5/8英寸）规格，可选角阀或直通式结构。

支持手动操作或集成步进电机控制器，满足不同自动化需求。

产地	瑞士
流量控制范围	准确控制微小气体流量，范围为 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s 至 500 mbar·L/s，满足UHV/XHV工艺中气体计量的严苛要求。
密封性能	采用全金属密封结构（不锈钢阀体 + 镀金不锈钢薄膜闸门密封），实现“硬对硬”金属密封，确保终生无泄漏，密封寿命达 40万次调节循环 + 1万次密闭关闭循环，且膜片支持便捷更换。
法兰与接口	标配可旋转式CF-R法兰，适配多种真空系统；可选角阀或直通式结构，提供 DN16mm（5/8英寸）规格。
操作方式	支持手动操作或集成步进电机控制器（需注意：带控制器时highest烘烤温度为150℃，拆离控制器后可承受300℃烘烤）。
耐腐蚀性	全金属设计对腐蚀性和侵蚀性气体具有高耐受性，适用于半导体制造、科研装置等高纯度环境。
温度范围	阀体highest可承受 300℃（需拆离控制器烘烤），驱动器温度限制为 ≤300℃。
重量与尺寸	阀门重量为 1.25 kg，结构紧凑，便于集成到真空系统中。

半导体制造

晶圆传输腔体隔离、CVD/PVD工艺腔气体计量，确保高纯度环境与准确流量控制。

科研装置

同步辐射光束线、粒子加速器真空系统，满足恶劣真空与稳定流量需求。

高真空实验

表面科学、材料研究等领域，提供可靠的气体定量输送解决方案。