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其他工具:用于管材/线缆

COORSTEK碳化硅陶瓷TPSS

  • 品  牌:COORSTEK
  • 型  号:TPSS
  • 技术资料:
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产品介绍

 TPSS 产品具有高纯度、高强度和高耐腐蚀性等多种特性,TPSS是一种导电材料,不易产生静电。适用于半导体热处理炉的炉芯管、热平衡管、舟和叉。 此外,还提供采用 CVD 方法在产品表面镀上一层超纯致密碳化硅膜的产品,以满足用户的各种需求。

性能特点

高纯度、高强度

高耐腐蚀性

均匀加热

耐热震性

抗氧化性

技术参数

产地:日本

比热(室温,J/gK):0.69

线膨胀系数(×10 -6 /K):4.3(室温~1000℃)

导热系数(室温,W/mK):175

耐热震温度(△T、℃):400

表层材质:CDV碳化硅膜

体积电阻率(Ω厘米):10-1

按等级进行化学分析:TPSS-U

Fe 2.5  Al 0.5  Na 0.2  K 0.2  Ca 0.7  Cu <0.01  Cr 0.1  Ni 0.3

表层材料热膨胀系数:碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9

硝酸和氢氟酸的混合酸溶液:不会被腐蚀

产品应用

炉芯管、热平衡管、舟和叉

详细参数

产品应用


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