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其他光学测量仪器

Semiconsoft薄膜测量仪VIS

  • 品  牌:Semiconsoft
  • 型  号:VIS
  • 技术资料:
  • 阅读次数:283

产品介绍

MProbe Vis-Thin 薄膜测量系统是一款结构紧凑、功能多样的台式系统。它可以测量不同基底上 10nm - 150µm 厚度范围内的半透明薄膜。而且,它经济实惠,使用方便。MProbe Vis(X) 的生产版本可承受振动,并可通过局域网连接24小时运行。它可用于在线和 OEM 应用。它与无尘室环境兼容。MProbe20 VisX 系统是 MProbe20 Vis 系统的一个版本,在更长波长(> 700 nm)下的灵敏度有所提高。

性能特点

灵活性高

500 多种扩展材料数据库

可以处理复杂的应用,没有层数限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗淡度等。

集成:轻松集成 TCP 服务器

经济实惠,性价比高

选型指南

MProbe20

波长范围

厚度测量范围

VIS

400m-1000nm

10nm–150μm

UVVIS

200m-1100nm

1nm-75μm

VIS-HR

700m-1100nm

1um-400um

NIR

900m-1700nm

50nm–150μm

VisNIR

380m-1700nm

50nm-250μm

UVVisF

200m-1000nm

1nm-20μm

UVVISNIR

200m-1700nm

1nm-75μm

NIRHR

1500m-1550nm

10μm-1800μm

(glass) 4μm-400μm (Si)

产品结构与细节

主机(包括光谱仪、光源)

SH200A 样品台,带聚焦镜头和微调装置

光纤反射探头

TFCompanion -RA 软件、USB许可证密钥、包含软件发布、用户指南和其他材料的 USB 记忆棒

USB / LAN 电缆

24VDC 电源适配器(110/220V)

技术参数

产地:美国

厚度范围: 10 nm - 150 μm

波长范围: 400nm -1000nm(典型校准范围:380-1050nm),VisX 为 450nm -1050nm

波长分辨率: < 小于 1 nm,狭缝为 20 微米(整个光谱均匀一致)

连接: USB / 1 GbE LAN

数据采集速率:1.5kHz(Max)

测量时间:10秒(Min)

精度:<0.01nm 或 0.02%(在 200nm 氧化物上进行 100 次测量的 s.d.)。

准确度:<1nm 或 0.2%(取决于薄膜叠层)

稳定性:< 0.02nm 或 0.2%(每天测量 20 天)

光斑尺寸:< 1 mm

样品尺寸:>= 10 mm

光源:5W TH 灯,10000 小时寿命(可选:20W TH 灯,2000 小时寿命)

产品应用

可快速可靠地测量大多数半透明或轻吸收薄膜: 氧化物、氮化物、光刻胶、聚合物、半导体(硅、砷化镓、aSi、聚硅等)、硬涂层(SiC、DLC、AlN)、聚合物涂层(Paralene、PMMA、聚酰胺)、ITO、电池间隙、氧化铝、薄金属膜(<50 纳米)等。

详细参数

产品应用


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