VAT蝶阀20.3

20.3型VATTERFLY阀门的核心要素在于其独特的VATterfly技术。该阀门的关闭机构运作原理与传统蝶阀技术存在显著差异：在关闭循环过程中，阀板移动时完全不接触阀体，从而避免了激活潜在颗粒物的风险（例如由气体副产物积聚形成的颗粒物）。该阀门还可像闸阀一样在开启和关闭位置实现机械锁定，进一步提升安全性。

这些特性使20.3型特别适用于污染性及腐蚀性工艺中的隔离需求。在数千种严苛工况条件下经过验证，20.3/20.4系列展现出卓绝的可靠性。

20.3型蝶阀提供紧凑型标准阀体版本（20.3），其下游侧设有延伸阀体覆盖蝶板旋转区域。

阀门尺寸范围为DN 63 – 200mm（2½”– 8”），阀体材质可选不锈钢或铝合金。两种版本均标配ISO-KF或CF-F法兰，亦可提供其他法兰规格。采用双作用气动驱动，标配24 VDC电磁阀，亦可认定其他电压规格。

颗粒活化程度低

抗工艺污染能力强

开闭位置机械锁定

在污染性及腐蚀性工艺中运行时间长

运行可靠

相比传统闸阀解决方案，拥有更低的持有成本

半导体制造：

刻蚀工艺：在等离子体刻蚀过程中，阀门需频繁开关以控制气体流量。VAT 20.3的无接触设计避免颗粒污染晶圆，机械锁定功能防止意外开启导致工艺中断。

CVD/ALD沉积：配合61.3系列高真空蝶阀，实现沉积腔室的精细压力调控，确保薄膜均匀性。

光伏产业：

PERC电池镀膜：在真空镀膜环节，阀门需承受高温（>150℃）和腐蚀性气体（如Cl₂、H₂）。VAT 20.3的耐腐蚀阀体和高温密封材料可稳定运行，减少停机维护。

科研实验：

同步辐射光源：需在ultra-high真空环境下长期运行，阀门泄漏率低至10⁻¹² mbar·L/s，保障实验数据准确性。