MICROFLEX TECHNOLOGIES高流动性基板MSA-043-315

品　　牌：MICROFLEX TECHNOLOGIES
型　　号：MSA-043-315
技术资料： MICROFLEX TECHNOLOGIES高流动性基板MSA-043-315.pdf
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产品介绍

MicroSeal 系列是高纯度、高完整性密封件的完整产品线，适用于工业和半导体应用，包括低流量、高流量、高压和低压降。我们还提供孔口密封件和盲孔密封件，用于封闭备用端口。其他主要优点包括高清洁度和无源、富铬、低 Ra 表面光洁度。MicroSeals 可改装为标准的 “C ”型密封系统。我们的密封件符合 SEMI 标准 PR 3.1、3.5 和新的大流量标准。MicroSeal 的设计具有更柔软、更顺从的界面，可根据配合表面自行成型，确保泄漏密封性，并在不牺牲回弹特性的情况下去除虚拟泄漏。这是市场上具有高回弹性的高顺应性密封件。MicroSeals 的回弹率是同类密封件设计的十倍之多，而且对空腔公差的容忍度特别高。这确保了密封面在高压力、温度和振动条件下保持紧密接触。所有这些特性都是在低压缩率的情况下实现的，从而确保了较高的通过。

性能特点

3 孔大流量

C 型密封件组件

1.5" 基质 / K1H

优化的内径，可在中流量、高流量、蒸汽和液体输送系统中实现低压降

低压缩率，确保气体/液体输送系统的高可靠性

密封回弹力是传统设计的 10 倍，可在冲击和振动条件下实现泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 和 3.5 标准

高纯度双熔体 316 不锈钢

洁净被动式富铬表面

5 Ra 润湿表面处理

减免了高成本的返工和报废现象

技术参数

产地	美国
材料	>0.004 % 硫含量
铬/铁比率	铬/铁比率 2.5
氧化物厚度（减碳）	CrO 厚度（减碳）35 角
表面粗糙度	＜ 1 微英寸
缺陷	每个位置少于 1 个缺陷
泄漏测试，设计压力	5000 psig
外侧泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He，100 psig，暴露于 5000 psig 后
压力测试7500 psig 时的防爆	看不到流体静压测试液
防漏部件密封性	< 7 x 10^-11
爆裂测试（静水压）	在 > 20,000 psig 压力下爆裂
振动-MIILSPEC 810E Sec 1 类别 1	内侧泄漏
经过 MIL-SPEC810E Sec 1-3 类别 1 测试	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
冲击 - 以 25G 为增量进行跌落测试	冲击超过 > 294 G - 无泄漏
内侧泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
扭矩	10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅
可重复性	使用 20 套新密封件制作和重新制作基体
通过内侧泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He，在每次制作和重新制作以及 20 次重新制作循环之后以 10、24 和 48 英寸/磅扭矩进行测试
扭矩测试后，内侧泄漏	< 5 x 10^-11 atm·cc/sec He
温度循环
板内泄漏	在每个温度下通过泄漏测试 <7x 10^-11 atm·cc/sec He
温度冲击测试	-196 至 +200 ℃（直接插入液态 N₂ 中）
<7 x10^-11 atm·cc/sec He 条件	无泄漏
标准密封	685 磅

产品尺寸

产品应用

工业、半导体