电源开关
BDISCOM电源BDS SP 3
- 品 牌：BDISCOM
- 型 号：BDS SP 3
- 技术资料：
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产品介绍
BDISCOM是一家制造公司，生产直流低压和高压/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及台式射频等离子体反应器系列，还提供发电机、电源和过程控制系统。多年来积累了丰富的设计开发经验，通过不断地研究创新，提高产品质量及性能，满足客户需求。
BDS SP 3是用于直流溅射工艺的新型电源系列。
性能特点
- 所有单元均配备用户友好的主动式触摸屏显示器
- 点火电压高达 1,1 kV
- 电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec
- 冷却空气
技术参数
- 电源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
- max功率输出：3、6 和 12kw FS
- max电压输出：1000 Volt FS
- max电流输出：6、12 和 25 安培
- 点火：1,1 KVolt
- 电弧探测器：< 200 nSec 检测，< 1 mSec DV/DT 关闭时间
- 效率：> 90 %
- 显示：触摸面板 240x128 像素
- 调节模式：功率/电压/电流（可选）
- 冷却：空气（强制）
- 接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 选项）
- 工作温度：5-40°C
- 尺寸：19” 机架 - 4HU
津公网安备12010102000945号
