赛力斯自动化科技有限公司

7037 和 7027 系列在线射频功率传感器率先将可追溯的测量精度引入市场，适用于需要准确射频功率测量的应用，例如半导体、激光行业。BIRD先进的 CW 和脉冲传感器，大限度地减少射频工艺的可变性，改变等离子室与室的匹配，并为您的射频传输系统提供重要的洞察力。借助 Bird 的校准技术，可在整个动态范围内保证百分之0.5的精度，从而确保单元间的可重复性并降低过程可变性。无论您使用的是 CW 还是 Pulsed RF，这两种测量结果都会使用 Bird 的功率计自动显示，无需切换模式。在每个脉冲内使用多达 4 个间隔自定义您的复杂工艺配方测量。

• 通过射频发生器校准和验证，这些高精度传感器可确保射频发生器输出的可靠性。
• 使用 VPM3 记录和分析来自实验配方的射频功率数据，以实现更简化的工艺开发。
• 现场流程监控允许在运行时实时监控流程以检测异常情况。
• RF 脉冲波形的时域分析提供了对高功率 RF 脉冲的更深入了解。

• 测量类型：CW 和多态脉冲射频功率
• 阻抗，标称：50 欧姆
• 驻波比范围：1.0:1 至 2.0:1
• 插入损耗：<0.05 dB max
• 插入电压驻波比：1.05 max
• 方向性：28 dB min
• 校准：NIST Traceable
• 射频连接器：QC 7/16 DIN、N、HN、LC、QRM 和其他可根据要求提供
• 尺寸：6.0 英寸 x 1.9 英寸 x 3.7 英寸（155 毫米 x 50 毫米 x 95 毫米）不包括 QC 连接器
• 重量：小于 3 磅，1.4 公斤