APC200是GPC3000的升级版,压力流量控制器基本为电容压力计供电(±15VDC),接收并显示来自电容压力计的压力信号,连接节流阀,通过PID或自整定功能控制压力. 它是一个控制装置。其中,如果使用自整定功能,则通过检测流入腔室的气体量、泵速、阀位引起的真空压力变化等重要参数来获取压力控制因素。如果用户使用此功能来控制压力,可以更快地达到所需压力。内置两个过程限位继电器,帮助用户设备过程。