赛力斯自动化科技有限公司

DH 系列热浸式隔膜阀专为需要将阀门完全包含在高温、高纯度环境中的应用而设计，例如原子层沉积 (ALD) 和前体输送应用。其完全包含的高纯度级 PFA 阀座提供了广泛的化学兼容性以及抗膨胀和抗污染性。体内完全扫过的流路减少了截留面积并提高了流动能力。高达 0.60 的流量系数、各种 1/4 和 3/8 英寸的端接，以及气动和手动驱动模型——常闭执行器能够使阀门打开或关闭时间小于 5 毫秒——可用于 满足广泛的系统需求。该阀门设计用于在 220°C (428°F) 下实现良好性能。

使用连续监测的去离子水超声波清洗系统进行高纯度清洗

在 ISO 4 级工作区域执行； 阀门采用双层袋装，真空密封在洁净室袋中

润湿表面粗糙度 (Ra)：电抛光并精加工至平均 5 µin。 (0.13 微米)