赛力斯自动化科技有限公司

HPD 4 K 低温晶圆探针是一种高精度全自动探针台，适用于 4 K 环境中的 150 毫米和 200 毫米基板。为了加速商用量子和超导计算机的实现，我们为芯片开发人员提供了智能迭代设计所需的工具。4 K 低温晶圆探测器集成了可配置的 DC 和 RF 电缆，以及可用于测试配置的更大灵活性的定制探针卡。具有集成磁屏蔽的稳健设计提供了必要的稳定环境条件，以确保为敏感的超导设备提供高质量的数据。全自动晶圆装载和复杂的 Velox 软件套件允许进行高吞吐量测试和无人值守操作，以快速获取数据。FormFactor 长期的探测知识和数十年的准确低温经验在该系统中相结合，将超导设备的测试和测量从实验室带入晶圆厂。

环境控制

• 晶圆温度验证 <4.5 K（44 个射频探头接触）
• 磁场抑制<200 nT
• 高度均匀的晶圆温度
• 准确的热稳定性和控制
• 坚固的花岗岩底座结构可实现准确的运动和振动控制

灵活性

• 轻松更换可定制的探针卡
• 可配置为 150 毫米或 200 毫米晶圆
• 多达 56 个射频同轴电缆（高达 18 GHz）
• 多达 520 条直流线路

自动化

• 全自动晶圆装载或手动选项
• 用于手动、半自动或全自动探测的完整软件套件

数据获取时间

• 25 个晶圆盒容量，用于全自动测试
• 每个晶圆约 15 分钟的冷却时间
• 用于快速模具到模具运动的高速运动平台

用于快速稳定时间的刚性运动堆栈

量子计算、超导芯片开发、量子信息科学