赛力斯自动化科技有限公司

LWP 系列光波探头可以对晶圆上和混合光子器件进行光学测量。它具有用户可更换的光纤尾纤，使探头能够针对各种光传输和光收集应用进行优化，包括顶部照明光电二极管的表征、垂直腔面发射激光器 (VCSEL)、混合发射器和接收器、

和 LED。

LWP 探头可以照亮和收集用于表征各种光子器件的光信号。当与 FormFactor 的探针台和 RF/DC 探针结合使用时，LWP 探针可以提供调制、频谱、时域和低电平 LIV 测量。

现场可更换光纤尾纤的选择取决于所需的照明模式或收集效率。光纤尾纤可用作单模或多模，带有透镜端面或切割端面。透镜光纤尾纤提供高数值孔径 (NA) 照明并以极低的背反射收集光线。带透镜的单模光纤可提供小至 5 μm 的照明区域。多模尾纤非常适合有效率的光收集。

 

灵活性和易用性

• 针对各种应用进行了优化的现场可更换光纤
• 晶圆映射能力和关键参数的可视化显示

准确性

• 接触保护设计可确保在晶圆和基板级别进行快速、准确和可重复的测量
• 大限度地减少了高速测试的电气寄生效应

兼容性

• 标准 FC 型光纤连接器
• 与 FormFactor 探针台和附件兼容

LWP-CLV-SM

LWP-LEN-SM

LWP-CLV-MM

LWP-LEN-MM