赛力斯自动化科技有限公司

FormFactor 的 Cascade PM8 手动探针系统旨在为高达 200 mm 的分析探测应用提供高度稳定、符合人体工程学和灵活的探测平台，例如器件和晶圆表征、故障分析 (FA)、RF/mmW/sub-THz探测和 MEMS。创新的精细滑动卡盘平台提供大范围粗动和微米级微动，

简化测量。花岗岩板可以承受任何热或机械影响，并确保完整的系统稳定性。PM8 的坚固结构非常适合所有高达亚太赫兹范围的射频应用，由 WinCal XE 校准软件支持，包括 LRRM、LRM+、NIST 风格的 TRL 和混合校准方法。

独特的可移动显微镜桥选件可轻松且符合人体工程学地对高达 200 毫米的观察系统进行粗调和微调，从而使所有 FA 和检测任务以及晶圆级可靠性 (WLR) 测试变得容易。PM8 可以使用各种附件进行升级，例如用于 FA 应用的激光切割机和遥控手动定位器，以及用于校准基板和抛光垫的特殊设计的卡盘，用于高频应用。探针卡可以很容易地用于测试，并且可以通过少的设置调整来测试封装的部件。

• 力学

高稳定性花岗岩底座

X 轴和 Y 轴的独立粗略移动，结合低至亚微米范围的轻松微调

1 µm 可重复分离行程

高测量精度和可重复性

快速导航和高精度探头定位

• 高灵活性

可针对 DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新配置

多种附件：热卡盘、电动显微镜和定位器、暗盒等

40 毫米压板高度可调

升级路径以满足您未来的需求

晶圆和封装测试之间的快速转换

• 便于使用

低调、简单的设计

简单且符合人体工程学的操作

• 双面选项

正面或背面仪器，例如：积分球、光纤设置、压力模块

正面或背面探测能力

访问被测设备 (DUT) 的顶部和底部

高精度光测量

PS-ACC-HDTV：

兼容 EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的 C 接口数字电视选项