赛力斯自动化科技有限公司

自 1989 年以来，行业客户一直信赖 UHP160 系列的可靠性和性能。该系列除采用全焊接结构外，还采用了全不锈钢传感器。UHP160 系列采用 Wasco 专有的制造方法，消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的开关，精度高，公差小。我们为高纯度应用（如半导体设备）设计了这些开关。UHP160 系列不含任何弹性体或 O 形圈。根据 SEMI F1 标准，所有开关的氦气泄漏测试均达到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 级洁净室中制造和包装。

适用于半导体设备等高纯度应用

不含任何弹性体或 O 形圈

符合 SEMI F1 标准

所有开关的氦气泄漏测试均达到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

100 级洁净室中制造和包装

UHP160-3 设定点范围：1.6 - 25.0 inHg

UHP160-5 设定点范围：6.0 - 29.5 inHg

可提供其他表面安装配置

可提供其他端面密封配置

产地：美国

Max系统压力：30.0 inHg

设定点范围：1.6 - 25.0 inHg

设定点公差：± 1.2 inHg  

典型复位带：1.0 - 4.6 inHg

润湿元件接头：316L SS

膜片：17-7PH SS 和 316L SS

使用寿命：≥ 1,000,000 次循环

防护等级：IP 67

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作温度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C

表面安装：带 IGS

端面密封：1/4 " 外螺纹

气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备