赛力斯自动化科技有限公司

膜组件适合脱气、给气的结构，它不透液体,只透气体。选项多,以多种类型迎合多种用途-可膜内处理。膜外部磨皮减少结露的产生，不使用氮气,能提高一定的效率，可按不同组件可脱至达ppb单位。

显影液用

处理流量大

产地：韩国

膜材料：PFA

膜面积：约0.33 m²

本体（真空侧）：SUS 304

接头（润湿侧）：PTFE

标准流速：50 CC/min

标准流量时的压力损失：0.05 MPa(0.05 kg/cm²)

除气性能：8.4 ppm以下⇒7.2 ppm以下

脱气标准：22~24 ℃ 超纯水

连续流量：50 kΩ

连续流速：50 CC/min

真空压力：100 Torr

尺寸：Ø 102 × 155 mm（不包括配件）

液体入口直径：Ø6管接头

液体出口直径：Ø6管接头

真空孔：PT 1/ 4

Max液体温度：40 ℃或以下

Max工作压力：0.2 MPa(0.2 kg/cm²)指模块内部压力

正常压力：0.2 MPa(0.2kg/cm²)

水容量：200 ml

去离子水的脱气、超音波清洗用水脱泡沫处理、含有表面活性剂的液体