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压力开关

UC9系列采用了Wasco的专有制造方法以及Elgiloy隔膜。它提供很高纯度和不匹配的耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的好的开关，精度高，公差小。

我们为下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境设计了这些开关。UC9系列的额定应用周期超过2，000，000个95B2。UC9系列有满足或超过SEMI F20 UHP要求的材料选择。根据SEMI F1，所有开关都经过氦泄漏测试，达到≤ 1 x 10-9标准立方厘米/秒。

煤气箱

IGS气体面板

气体分配系统

阀门歧管箱

蚀刻和沉积系统