赛力斯自动化科技有限公司

一种用于波前控制的多功能可变形反射镜系统。

流行的Multi-DM系列以易于使用的包装提供复杂的像差补偿。这种类型的系统具有137或140个准确控制的元件和低致动器间耦合，非常适合广泛的应用，包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束成形。

MEMS 可变形反射镜的架构可实现当今任何可变形反射镜中快的响应时间，并且精度仅受电子设备限制。我们的标准驱动器可对整个范围进行14位控制，使我们的可变形反射镜具有开箱即用的精度。如果需要更高的精度，可以使用更高的分辨率。

设计概念简单，但功能强大

工作温度：-10C – 30C

储存温度：-10C – 80C

相对湿度：< 30%RH

镜面涂层：铝、金或保护银

窗口：可提供AR涂层

迟滞：无

步长：亚纳米（平均值）

表面类型：连续（DM）

填充系数：>99%

表面形貌：<20nm RMS

执行器总数：140

整个孔径的致动器计数：12

物理行程（μm）：5.5

波前行程 (µm)：11.0

孔径（毫米）：4.95

间距（μm）：450

产地：美国