SmartTrak 50系列经过优化,具有长期过程控制应用所需的稳定性、可靠性和操作简单性,以经济的价格提供高精度和可靠的气体质量流量控制。max流量范围从50 slpm增加到200slpm。这使得它非常适合控制晶圆清洁和抛光操作中使用的载气,或PVD和其他半导体操作中的吹扫控制。它还擅长一般应用中常见气体的质量流量控制。模拟和数字输入和输出均可用,使 50系列能够与较旧的模拟系统或新的多点数字工具一起使用。零位和跨度的现场调整使校准中的小调整能够与现场过程保持一致条件。