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INFICON气体分析仪MPS100F
其他气体分析仪器
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right
INFICON气体分析仪MPS100F
品 牌:
INFICON
型 号:
MPS100F
技术资料:
INFICON气体分析仪MPS100F.pdf
阅读次数:
541
产品介绍
MPS系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供 100 amu 和 200 amu 两种版本,能够灵活地执行各种功能,包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。
性能特点
双灯丝
现场可更换电子倍增器
可现场更换的阳极、阴极和排斥极灯丝组件
可互换的传感器和电子设备
TCP/IP 以太网连接
较短的传感器可max限度地减少安装空间
max模拟扫描和选定峰值的每点数据速率为 3 ms
MDPP <1.5E-14 Torr
传感器在洁净室环境中组装、测试和双重包装
技术参数
传感器长度:14.3 厘米
质量范围:100 amu
探测器类型:FC
灵敏度 (FC):3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM):NA
min可检测分压 (3):2.6E-12 Torr
max传感器工作温度 (FC):200°C
max传感器工作温度 (EM):不适用
灯丝类型选项:双 Y2O3/Ir 灯丝
分辨率 (1):<1 amu 宽
温度系数 (2):<1%/°C
每点max数据速率:3 ms
零爆炸(@质量 2):<100 ppm
max工作压力:5E-4 Torr
max烘烤温度:300 °C
电源输入:20-30 VDC
详细参数
产品应用
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