OX400是一款使用氧化锆技术的低水平氧气分析仪。氧化锆传感器采用薄膜沉积技术,在氧化锆元素和铂层之间形成分子键,使传感器更小,使用寿命更长。OX400 可用于控制和监控各种半导体应用,以及控制环境、空气泄漏到惰性气体和其他过程。