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QWED谐振器SPRD应用

2017-08-28 16:27:00

SPDR用于测量包括LTCC衬底在内的层状电介质材料的复介电常数，也用于沉积在低损耗介质衬底上的薄铁电薄膜。此外，SPDR可用于测量各种导电材料（如商用电阻层，薄导电聚合物膜或高电阻率半导体）的表面电阻和电导率。这种测量仅适用于Rs> 5kΩ/平方的大表面电阻采样。样品的最小尺寸取决于谐振器的工作频率。SPDR适合在-270℃至110℃的温度下工作。

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